Ємнісні датчики тиску застосовуються в медицині та автомобільній промисловості. Специфічні конструкції та монтажні розташування значно відрізняються, починаючи від невеликих чутливих трансдюсерів з катетером, що використовуються в серці, до більших твердих пристроїв, необхідних для контролю промислових процесів. Для створення ємнісного типу датчика тиску використовувалась масштабна мікрообробка кремнію. Вона перетворює деформацію діафрагми, що відповідає тиску, в зміну ємності. Загальна зміна ємності є інтегралом зміни ємності кожної малої області на діафрагмі. Зміна ємності 6C / C вимірюється як функція деформації або тиску. Деформація діафрагми була спрогнозована за допомогою програмного забезпечення Intellisuite. Статична ємність при відсутності тиску була виміряна на рівні приблизно 4 пФ. Зміна ємності вимірювалась після нанесення тиску на мембрану. Ці результати показані для двох різних товщин мембрани: 24 мкм і 15 мкм. Чутливість краща в другому випадку, тоді як діапазон більший у першому випадку. Ці мембрани були змонтовані за допомогою епоксиду на нижній електрод. Проведені експерименти з технікою зв'язування датчиків.